La evolución geomorfológica de la parte sur del desierto de Atacama consta de cinco etapas principales durante el Cenozoico: 1) elaboración de una topografía madura durante el Paleogeno; 2) solevantamiento de Los Andes e intensa incisión vertical antes del OIigo-Mioceno; 3) relleno del modelado antiguo por depósitos detríticos polimícticos durante el Mioceno (Medio a Superior); 4) proceso de pedimentación, probablemente a fines del Mioceno y, finalmente, 5) rejuvenecimiento del drenaje debido a la reincisión vertical durante el Cuaternario.